本月21日零時17分，臺灣嘉義縣發生里氏6.4級地震，臺積電位于臺南的先進制程產線一度停機，全廠人員疏散。

臺積電指出，南科晶圓廠區測得最大震度為5級、中科廠區最大測得震度為4級、竹科廠區最大測得震度為3級。為確保人員安全，各廠區依照內部程序啟動相關安全預防措施，部分中部及南部廠區在第一時間進行人員疏散，21日凌晨1時許全數完成清點，確定人員安全無憂。各廠區也完成建筑震后損害檢查，確認結構安全無憂，逐步回線。

業內人士透露，臺積電約需要耗費一天或者以上才能將機臺重新調教歸位并且恢復生產功能，災損情況同樣需要時間。生產線上晶圓毀損情況方面，估計將出現1至2萬片晶圓破損，是否影響客戶出貨進度，將視后續恢復情形。

據悉，中國臺灣南科園區半導體工廠普遍有7級以上的防震設計，然而這次地震搖晃時間長，機臺仍有位移風險，支援設備業者即透露，龍頭大廠某產線機臺幾乎停擺。

臺積電南科廠區目前為3、5nm制程晶圓生產的重點廠區，客戶涵蓋輝達、AMD、英特爾等大廠。

法人估計將出現1至2萬片晶圓破損，是否影響客戶出貨進度，將視后續恢復情形。